ข้อมูลจำเพาะ
ขนาดภายในเตา (มิลลิเมตร): 800 x 1050.
ขนาดที่พลาสมาทำงาน (มิลลิเมตร): เส้นผ่านศูนย์กลาง500 x สูง550.
แหล่งจ่ายไฟไบแอส: ไฟกระแสตรง 15 หรือ 20 กิโลวัตต์
แหล่งจ่ายประกายไฟฟ้า: ไฟกระแสตรง 250 แอมแปร์ หรือ 400 แอมแปร์.
ความจุชิ้นงานก้านขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 16×50 มม. : 640 ชิ้น/ชุด
ความจุชิ้นงาน Hob ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 80×180 มม. : 24 ชิ้น/ชุด
ระยะเวลาเคลือบ AlTiN หนา 2 ไมครอน: 4 ชั่วโมง
สามารถออกแบบสารตั้งตั้นได้ 4 ชนิด
ประสิทธิภาพ
ประสิทธิภาพการผลิตสูง, ทำงานต่อรอบรวดเร็ว
ได้สารเคลือบที่มีประสิทธิภาพสูง
การซ่อมบำรุงและใช้งานง่าย